|
微电子级双氧水
HYDROGEN PEROXIDE FOR MICROELECTRONICS
 产品说明特性： 强漂白和氧化性, 不含防锈剂, 弱酸性
产品规格 技术要求：
外观 清亮，无色溶液 (max.10Hazen)
气味 淡，正常气味
pH值 1.5-5
密度 1100-1110kg/m3(20℃)
沸点 106℃
熔点 -26/-33℃
典型指标
|
|
|
p.a |
MOS |
VLSI |
ULSI |
SLSI |
|
H2O2含量 |
wt% |
29.0-32.0 |
30.0-32.0 |
30.0-32.0 |
30.0-32.0 |
30.0-32.0 |
|
游离酸(最大值) |
ppm |
50 |
50 |
40 |
30 |
30 |
|
不挥发物 |
ppm |
50 |
20 |
50 |
50 |
2 |
|
CL氯化物 |
ppm |
5 |
0.5 |
0.5 |
0.1 |
0.1 |
|
PO4磷酸盐 |
ppm |
5 |
1 |
1 |
1 |
0.2 |
|
SO4硫酸盐 |
ppm |
5 |
1 |
1 |
1 |
0.2 |
|
|
|
金属 |
ppb |
|
100 |
50 |
＜10 |
＜1 |
|
粒子含量 |
|
＞5um/ml的粒子数量 max. |
x |
|
|
|
|
＞0.5um/ml的粒子数量 max. |
|
＜250 |
＜15 |
|
|
＞0.2-0.3um/ml的粒子数量 max. |
|
|
|
x |
备注 毒性：30%的双氧水确定为有害物质。详细信息请见MSDS（产品安全数据单）
贮藏：本品应存放在阴凉库房中，避免阳光直射。严禁与酸性和易燃物混存。贮藏温度建议在25 ℃以下。
保质期： 从生产之日起12个月
包装： PE瓶1kg, 2.5kg, 5kg装; PE瓶40kg, 200kg装; IBC容器1000kg装
运输标准： UN2014 ADR5.1,8 Pcg. group Ⅱ
|
